电子与晶圆产业首选-防静电吸盘/抗静电吸盘(ESD吸盘)

 

静电放电(ESD)介绍
静电产生原因：摩擦、剥離、感应..等
机制：物质因失去或得到电子而带电

ESD的三种模式比较
抗静电级，可以分为以下三个等级
一、基本抗静电级
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE)：10的9次方到10的12次方Ω
二、抗静电级(静电消散)
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE)：10的6方到10的9次方Ω
三、导静电级
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE)：10的4次方到10的6次方Ω
依据国际规范IEC 1340-4-1规定，防静电材料为10的6方到10的9次方Ω

为什么需要抗静电(静电消散)级？
人员走动或磨擦，是产生静电之主要来源，静电过量累积，会造成人员触电或造成精密设备之误差或损坏。
例：现代化之办公室室内空间几乎为中央空调设备，全天候使用空调会让空气更干燥，这样会造成静电容易产生、聚集且不易消散。
为什么需要导静电级?
在高精密度之室内，如晶圆生产线、开刀房、弹药库…等，静电不可聚集之场所，必需经由导静电级材料宣泄静电，以避免发生危险。
例：开刀时医生需要监看各种精密仪器指数，若电脑、仪器因受静电干扰而读数不正确，可能导致医生误判，造成不可挽回的错误。
结论：
抗静电级(静电消散)：适合用于办公室、学校、医院、各种公共场所之室内、工厂办公室、制造加工厂房。
导静电级：适合开刀房、弹药库房、IC设备、晶圆生产线等的精密厂房。

加耐力(CNL)可提供的抗静电材料共分两种：
一、导静电级
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE):10的4次方到10的6次方Ω
二、抗静电级(静电消散)
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE):10的6方到10的9次方Ω

材质部份我们可提供有以下两种选择：
一、Silicon矽胶(硅胶)
二、NBR丁腈橡胶(布纳橡胶 Bunan)

加耐力(CNL)在制造与生产后，都会用专业的表面电阻测量仪器，来做材料与成品的检验，以符合以上两种等级的需求。
而这些抗静电材质，目前广泛的使用于真空吸盘(Vacuum pads、吸嘴)上，以防止在产线吸取过程中产生静电，导致产品毁损。